金融界2024年12月24日消息，国家知识产权局信息显示，上海华力微电子有限公司取得一项名为“具有除湿装置的前开式晶圆盒”的专利，授权公告号 CN 222190657 U，申请日期为2024年4月除湿装置 。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种具有除湿装置的前开式晶圆盒，前开式晶圆盒的内部设置有若干个用于容置晶圆的插槽，前开式晶圆盒的内部还设置有除湿装置，除湿装置设置在靠近前开式晶圆盒的顶板的插槽的上方，且除湿装置的底端与靠近顶板的插槽的顶端之间具有一预设间距；除湿装置包括连接组件、干燥剂以及用于承载干燥剂的承载组件；承载组件可拆卸连接在连接组件的下方；连接组件用于与前开式晶圆盒固定连接除湿装置 。本实用新型提供的具有除湿装置的前开式晶圆盒，通过将除湿装置设置在前开式晶圆盒的内部，能够增强对前开式晶圆盒内部的除湿效果。通过将除湿装置设置在靠近所述前开式晶圆盒的顶板的所述插槽的上方，能够在不影响晶圆存放量和传输流程的情况下降低前开式晶圆盒内的湿度。
来源：金融界
